午夜人妻电影网午夜福利视频免费機射頻微等離子體的結構特點有哪些?
文章導讀:當射頻大氣壓輝光放電的間隙縮小到微等離子體的尺度內,即為一毫米左右,甚至幾百微米的量級,射頻微等離子體又會出現哪一些新的特點呢?接下來午夜人妻电影网午夜福利视频免费機與大家共同探討。
當射頻大氣壓輝光放電的間隙縮小到微等離子體的尺度內,即為一毫米左右,甚至幾百微米的量級,射頻微等離子體又會出現哪一些新的特點呢?接下來午夜人妻电影网午夜福利视频免费機與大家共同探討。如下圖所示,是在相同的電流下,射頻微等離子體鞘層區與等離子體區的分布比例。在給定電流密度0.06A/cm2,當放電間隙逐步提升,實驗與計算均反映鞘層開始逐步提升,而當極板間隙提升大於500μm後,鞘層厚度基本上保持在215μm保持不變。而對於等離子體區的厚度,其從100μm到900μm一直在單調提升。

根據上圖午夜人妻电影网得知,當午夜福利视频免费機放電間隙小於500μm時,放電等離子體由傳統化的輝光放電結構轉換為1種鞘層主導的結構,即鞘層成為放電空間的主要部分。同時,數值模擬還反映,在鞘層主導的放電結構中,整個放電空間喪失了電中性,表現為電正性,如下圖所示。

假如想在射頻微等離子體中繼續得到正常的輝光結構,確保放電間隙內的電中性,提升放電頻率是1種行得通的方法。下圖給出了在不同頻率下兩個周期電子密度的時空分布。圖中顯示,當頻率為13.56MHz時,隻有在電極附近才有大量的電子,其密度近似3.06×1011cm-3。

而當頻率提升到27.12MHz時,產生的3.15×1011cm-3的電子密度在極板間伴隨外加電壓的改變反複振蕩,從1個極板到另1個極板,基本上占據了整個間隙。伴隨頻率進一步提升到54.24MHz,在放電間隙產生的高密度電子,形成1個穩定的中性等離子體區。這些數據反映,伴隨頻率的提升,放電結構發生改變,傳統化的輝光結構能夠出現。
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