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    在真空狀態下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用射頻源產生的高壓交變電場將工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的離子,然後與有機汙染物及微顆粒汙染物反應,產生揮發性物質,通過真空泵排出去。
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