無接觸幹式除塵設備介紹
文章導讀:無接觸幹式除塵是一種不依賴機械接觸、不使用液體介質,通過物理或化學方式去除物體表麵粉塵、微粒及輕質汙染物的技術,具有高效、環保、對材料無損傷等特點,廣泛應用於精密製造、電子、光學、食品等對清潔度要求嚴苛的領域。
無接觸幹式除塵是一種不依賴機械接觸、不使用液體介質,通過物理或化學方式去除物體表麵粉塵、微粒及輕質汙染物的技術,具有高效、環保、對材料無損傷等特點,廣泛應用於精密製造、電子、光學、食品等對清潔度要求嚴苛的領域。
氣流剝離:利用高速潔淨氣流(如壓縮空氣、惰性氣體)產生的衝擊力,使粉塵脫離表麵,適用於較大顆粒(≥10μm)。
靜電吸附:通過電極產生靜電場,使粉塵帶電後被異性電極吸附,適合微小顆粒(≤5μm),尤其適用於絕緣材料表麵。
等離子體作用:等離子體中的活性粒子與粉塵發生電荷轉移或化學反應,破壞粉塵與表麵的附著力,同時等離子體的 “轟擊” 效應促使粉塵脫離(常用於精密部件的深度除塵)。
聲波 / 超聲波振動:通過高頻聲波(20kHz 以上)產生的機械振動,使粉塵在共振作用下脫離表麵,適用於易損材料(如薄膜、柔性基板)。
原理:通過噴嘴噴出高壓(0.3-0.8MPa)潔淨空氣,形成高速氣流束,直接吹除表麵粉塵。
特點:設備簡單(由空壓機、過濾器、噴嘴組成),成本低,適合大麵積、粗糙表麵(如金屬板材、塑料件);需配合集塵裝置避免二次汙染。
靜電除塵設備
結構:含放電電極(產生離子)和集塵電極(接地),粉塵經過時帶電並被吸附。
優勢:可去除 0.1μm 以下微塵,無機械損傷,適用於電子元件、光學鏡片表麵。
等離子體除塵裝置
原理:等離子體中的電子、離子與粉塵碰撞,使其帶電並脫離表麵,同時活性粒子可分解有機汙染物。
應用:半導體晶圓、LCD 麵板的預處理,既能除塵又能改性表麵,提升後續工藝效果。
超聲波幹式除塵
特點:利用高頻聲波(通常 20-100kHz)的振動能量,使粉塵在不接觸材料的情況下脫落,搭配負壓裝置收集。
適用場景:柔性材料(如薄膜、織物)、精密電路板的除塵,避免刮傷。
環保性:不使用水、化學溶劑(如酒精、清洗劑),無廢液、廢氣排放,符合綠色生產標準。
高效性:可快速處理大麵積或複雜結構(如縫隙、盲孔),部分設備處理速度達 10-30 米 / 分鍾,適配流水線生產。
潔淨度高:能去除微米至納米級顆粒,滿足精密製造(如芯片、鏡頭)對 “零汙染” 的要求。
適應性廣:不受材料導電性、硬度限製,可處理金屬、塑料、陶瓷、纖維等多種材質。
光學行業:鏡頭、棱鏡、顯示屏(如 OLED、LCD)的除塵,確保光學性能(如透光率、成像清晰度)不受顆粒散射影響。
食品與醫藥:食品包裝(如鋁箔、塑料膜)的表麵除塵,避免微生物附著;藥用玻璃管、醫療器械的無菌除塵。
新能源領域:光伏玻璃、電池極片的除塵,提升組件的光電轉換效率或電極導電性。
印刷與包裝:薄膜、紙張印刷前除塵,防止油墨附著不均導致圖案缺陷。
無接觸幹式除塵技術憑借對精密材料的保護性和高效環保的優勢,已成為高端製造領域不可或缺的關鍵工藝,尤其在追求 “零缺陷” 生產的場景中,其應用價值日益凸顯。
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核心原理
通過非接觸式能量或介質作用,使汙染物與基材表麵分離,並被收集或排出,主要包括以下幾種機製:氣流剝離:利用高速潔淨氣流(如壓縮空氣、惰性氣體)產生的衝擊力,使粉塵脫離表麵,適用於較大顆粒(≥10μm)。
靜電吸附:通過電極產生靜電場,使粉塵帶電後被異性電極吸附,適合微小顆粒(≤5μm),尤其適用於絕緣材料表麵。
等離子體作用:等離子體中的活性粒子與粉塵發生電荷轉移或化學反應,破壞粉塵與表麵的附著力,同時等離子體的 “轟擊” 效應促使粉塵脫離(常用於精密部件的深度除塵)。
聲波 / 超聲波振動:通過高頻聲波(20kHz 以上)產生的機械振動,使粉塵在共振作用下脫離表麵,適用於易損材料(如薄膜、柔性基板)。

典型技術與設備
壓縮空氣除塵係統原理:通過噴嘴噴出高壓(0.3-0.8MPa)潔淨空氣,形成高速氣流束,直接吹除表麵粉塵。
特點:設備簡單(由空壓機、過濾器、噴嘴組成),成本低,適合大麵積、粗糙表麵(如金屬板材、塑料件);需配合集塵裝置避免二次汙染。
靜電除塵設備
結構:含放電電極(產生離子)和集塵電極(接地),粉塵經過時帶電並被吸附。
優勢:可去除 0.1μm 以下微塵,無機械損傷,適用於電子元件、光學鏡片表麵。
等離子體除塵裝置
原理:等離子體中的電子、離子與粉塵碰撞,使其帶電並脫離表麵,同時活性粒子可分解有機汙染物。
應用:半導體晶圓、LCD 麵板的預處理,既能除塵又能改性表麵,提升後續工藝效果。
超聲波幹式除塵
特點:利用高頻聲波(通常 20-100kHz)的振動能量,使粉塵在不接觸材料的情況下脫落,搭配負壓裝置收集。
適用場景:柔性材料(如薄膜、織物)、精密電路板的除塵,避免刮傷。
核心優勢
無損傷性:無需機械接觸(如擦拭、刷洗),可保護脆弱材料(如光學玻璃、超薄金屬片、生物樣本)表麵不受刮擦或形變。環保性:不使用水、化學溶劑(如酒精、清洗劑),無廢液、廢氣排放,符合綠色生產標準。
高效性:可快速處理大麵積或複雜結構(如縫隙、盲孔),部分設備處理速度達 10-30 米 / 分鍾,適配流水線生產。
潔淨度高:能去除微米至納米級顆粒,滿足精密製造(如芯片、鏡頭)對 “零汙染” 的要求。
適應性廣:不受材料導電性、硬度限製,可處理金屬、塑料、陶瓷、纖維等多種材質。

應用領域
電子製造業:PCB 電路板、芯片封裝前的除塵,避免粉塵導致短路或焊點失效;半導體晶圓的表麵預處理。光學行業:鏡頭、棱鏡、顯示屏(如 OLED、LCD)的除塵,確保光學性能(如透光率、成像清晰度)不受顆粒散射影響。
食品與醫藥:食品包裝(如鋁箔、塑料膜)的表麵除塵,避免微生物附著;藥用玻璃管、醫療器械的無菌除塵。
新能源領域:光伏玻璃、電池極片的除塵,提升組件的光電轉換效率或電極導電性。
印刷與包裝:薄膜、紙張印刷前除塵,防止油墨附著不均導致圖案缺陷。
無接觸幹式除塵技術憑借對精密材料的保護性和高效環保的優勢,已成為高端製造領域不可或缺的關鍵工藝,尤其在追求 “零缺陷” 生產的場景中,其應用價值日益凸顯。
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